Супер рендгенски мерач за мерење на површинска густина
Принципи на мерење
Кога зракот ја озрачува електродата, тој ќе биде апсорбиран, одбиен и расфрлан од неа, што резултира со одредено слабеење на интензитетот на зракот по пренесената електрода во однос на интензитетот на упадниот зрак, а неговиот однос на слабеење е негативно експоненцијален со тежината или површинската густина на електродата.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Почетна јачина на зракот
I: Интензитет на зракот по електродата за пренесување
λ : Коефициент на апсорпција на измерениот објект
m: Дебелина/густина на површината на измерениот објект

Најважни карактеристики на опремата

Споредба на мерење на полупроводнички сензор и ласерски сензор
● Мерење на детални контури и карактеристики: мерење на густината на површината со милиметарска просторна резолуција со голема брзина и висока прецизност (60 м/мин)
● Ултра мерење на ширина: прилагодливо на ширина на облогата поголема од 1600 mm.
● Ултра брзо скенирање: прилагодлива брзина на скенирање од 0-60 м/мин.
● Иновативен детектор на полупроводнички зраци за мерење на електроди: 10 пати побрз одговор од традиционалните решенија.
● Управувано од линеарен мотор со голема брзина и висока прецизност: брзината на скенирање е зголемена за 3-4 пати во споредба со традиционалните решенија.
● Самостојно развиени кола за мерење со голема брзина: фреквенцијата на земање примероци е до 200kHZ, подобрувајќи ја ефикасноста и точноста на облогата со затворена јамка.
● Пресметка на загубата на капацитетот на разредување: ширината на точката може да биде мала до 1 mm. Може прецизно да ги измери деталните карактеристики како што се контурите на областа на разредување на рабовите и гребнатините на облогата на електродата.
Софтверски интерфејс
Прилагодлив приказ на главниот интерфејс на мерниот систем
● Одредување на површината на проретчување
● Одредување на капацитетот
● Одредување на гребнатини

Технички параметри
Ставка | Параметар |
Заштита од зрачење | Дозата на зрачење од 100 mm од површината на опремата е помала од 1 μsv/h |
Брзина на скенирање | Прилагодлив 0-60 м/мин |
Фреквенција на примероци | 200k Hz |
Време на одговор | <0,1 мс |
Мерен опсег | 10-1000 g/㎡ |
Ширина на точката | 1мм、3мм、6мм опционално |
Точност на мерење | П/Т≤10%Интеграл за 16 секунди: ±2σ: ≤±вистинска вредност ×0,2‰ или ±0,06g/㎡; ±3σ: ≤±вистинска вредност ×0,25‰ или ±0,08g/㎡;Интеграл за 4 секунди: ±2σ: ≤±вистинска вредност × 0,4‰ или ±0,12g/㎡; ±3σ: ≤±вистинска вредност × 0,6‰ или ±0,18g/㎡; |