CDM интегриран мерач на дебелина и површинска густина

Апликации

Процес на обложување: онлајн детекција на мали карактеристики на електродата; вообичаени мали карактеристики на електродата: празнично откривање (без истекување на струјниот колектор, мала сива разлика со нормална површина на обложување, дефект на CCD идентификацијата), гребнатини, контура на дебелина на површината за разредување, детекција на дебелина AT9 итн.

Испратете ни е-пошта

Детали за производот

Ознаки на производи

Принципи на мерење

Принципи на мерење на површинската густина

Метод на апсорпција на Х/β-зраци

Принципи на мерење на дебелина

Корелација и ласерска триангулација

Технички карактеристики на CDM тестирање

Сценарио 1: На површината на електродата има празнина/кусок широк 2 mm и еден раб е подебел (сина линија како што е прикажано подолу). Кога точката на зракот е 40 mm, влијанието на измерената форма на оригиналните податоци (портокалова линија како што е прикажано подолу) очигледно изгледа помало.

Сценарио 2: податоци за профилот на површината за динамичко проретчување со ширина на податоци од 0,1 mm

Софтверски карактеристики

Технички параметри

Име	Индекси
Брзина на скенирање	0-18 м/мин
Фреквенција на семплирање	Густина на површината: 200 kHz; дебелина: 50 kHz
Опсег на мерење на површинската густина	Густина на површината: 10~1000 g/m²; дебелина: 0~3000 μm;
Повторување на мерењето точност	Густина на површината: 16s интеграл: ±2σ: ≤±вистинска вредност * 0,2‰ или ±0,06g/m²; ±3σ:≤±вистинска вредност * 0,25‰ или +0,08g/m²; 4s интеграл: ±2σ: ≤±вистинска вредност * 0,4‰ или ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±вистинска вредност * 0,6‰ или ±0,18g/m²;Дебелина: Зона од 10 mm: ±3σ: ≤ ± 0,3 μm; Зона од 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Зона од 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Корелација R2	Густина на површината >99%; дебелина >98%;
Ласерска точка	25*1400μm
Класа на заштита од зрачење	Национален безбедносен стандард GB 18871-2002 (исклучок од зрачење)
Работен век на радиоактивните извор	β-зраци: 10,7 години (полуживот на Kr85); Рентген: > 5 години
Време на одговор на мерењето	Густина на површината < 1ms; дебелина < 0,1ms;
Вкупна моќност	<3kW